第71章 光学镜组

星辰光刻光学实验室,无尘车间的灯光白得刺眼。

陈院士戴着白色防尘帽,手里的数据报告翻了一页,眉头拧成了疙瘩。

"三号镜的粗糙度,又卡在0.32纳米了。"他把报告拍在桌上,"就差0.02,死活下不去。"

周围几个材料所的研究员,你看我我看你,谁也没敢接话。

"陈院士,"一个年轻研究员小声说,"要不……先按0.32验收?0.3纳米的目标,差这0.02,国际上也不是完全不能……"

"不行!"陈院士直接打断他,"0.5纳米的芯片制程,光学镜组的粗糙度必须压到0.3纳米以下。差0.02,良率就得掉一个档次。这是国产EUV的脊梁骨,宁可慢,不能糊弄!"

实验室里,气氛有些凝重。

苏宇推门进来时,看到的正是这一幕。

"卡在镀膜工艺上了?"他问。

陈院士抬头,摘下眼镜揉了揉眼:"不是镀膜,是抛光。极紫外光用的反射镜,跟普通光学镜不一样——要在基底上镀一百多层钼硅薄膜,每一层的厚度都要精确到原子级。镀膜工艺咱们三个月前就攻下来了,难的是最后的抛光。"

"镜面粗糙度要做到0.3纳米以下,每往下压一纳米,难度都是指数级往上翻。材料所的老教授们,为这一道工序熬了不知多少个通宵,好不容易把核心工艺啃下来了——"

"但是?"

"但是验收设备。"陈院士苦笑,"高精度的干涉仪,全球只有漂亮国艾戈系统公司能产。咱们从下单到验收,全流程都得过他们的手。"

他顿了顿,声音沉了下来:"苏总,就在刚才,艾戈那边发来通知——受漂亮国商务部管制令影响,三台纳米级干涉仪的出口许可,被无限期冻结了。"

实验室里,一片死寂。

"检测设备被卡了?"

"没有干涉仪,镜面粗糙度拿什么验?这不是等于造了个东西,没尺子量吗?"

"艾戈的干涉仪……这是掐准了节点来的啊。"

几个工程师低声议论,脸色都不太好看。

苏宇的眼底,掠过一丝冷光。

"好一个芯片联盟。"他轻声说,"前脚在大会被我掀了桌子,后脚就把刀架到检测设备上了。"

"苏总,"陈院士叹了口气,"没有干涉仪,镜组的数据就立不住。就算我们自己觉得没问题,国际上也不认这个数。芯片联盟这步棋,是要把咱们的光学系统,堵死在实验室里。"

"更何况——"他压低声音,"光刻机的反射镜,加工到0.3纳米是第一步。后面还要做表面原子级修复、多层膜应力控制。每一步,都离不开高精度的检测手段。艾戈一断供,整个光学系统的后续工序,全得趴窝。"

苏宇没有接话。

他闭上眼睛,意识沉入脑海。

"系统。"

"叮!宿主权限:2.5级。当前可检索图纸库范围:高级未来科技图纸库、量子芯片全套技术图纸、EUV光刻机全套技术图纸。"

"检索——纳米级镜面检测方案。"

图纸库里,海量数据如瀑布般滚落。

光刻机的检测技术,从来不止干涉仪一条路。

量子测量、散射光检测、原子力显微……无数条技术路径,在苏宇的意识里铺开。

最后,他停在了一页图纸前。

"叮!检索完成——【量子干涉测量方案】。基于量子纠缠态的纳米级无接触测量,精度可达0.05纳米,为传统干涉仪精度的六倍。判定:当前图纸库可完整实现,需量子芯片级精密控制单元配合。"

苏宇猛地睁开了眼。

"陈院士,"他说,"干涉仪的事,我来解决。"