"张工,"苏宇看着他,一字一句,"我信你。"
"光学、光源、工件台,每一关,你们都是踩着"不可能"过来的。这一次——我也信,你们能行。"
张工怔了怔,最后咬牙:"行!苏总,你把话放这儿了,我张工就是不吃不睡,五天之内,把温控结构给我造出来!"
"去吧。"苏宇拍拍他的肩膀。
联调倒计时第十三天。
张工带着光源组,连轴转了四天四夜,压电陶瓷主动温控结构,终于装上了试验台。
"二次点火!"
"轰——"
等离子体的白光,再度亮起。
这一次,功率曲线,稳稳地趴在545瓦上。
一小时。
两小时。
四小时。
六小时。
"八小时到了!"张工的声音,嘶哑却亢奋,"稳定运行八小时——通过!"
厂房里,爆发出一阵压抑已久的欢呼。
"第一项测试过了!"
"整机稳定运行,八小时零故障!"
苏宇也松了一口气。他看了看系统面板——任务倒计时,还剩十一天。
"接下来,"他说,"第二项测试——动态联调。"
"光源、工件台、光学、软件,四模块协同。模拟真实流片工况,连续运行十六小时。"
联调倒计时第十天。
第二项测试,开机两小时,出现新问题。
"工件台在高速移动时,光学链路的对焦出现滞后!"陈博士盯着屏幕,"滞后时间大约0.8毫秒。"
"0.8毫秒……"王磊沉吟,"这个滞后,会导致曝光位置偏差。0.5纳米的制程,0.8毫秒的滞后,足以让一片晶圆报废。"
"什么原因?"苏宇问。
"软件的问题。"陈文渊的声音从扬声器里传来。他人在芯片设计中心,远程参与联调,"四模块协同的同步逻辑,用的是传统的时间片轮转算法。光源、工件台、光学各有自己的时钟,同步靠软件对齐——高速工况下,软件对齐的延迟就暴露了。"
"有没有办法?"苏宇问。
"有。"陈文渊说,"改用事件驱动架构——让光源出光事件,直接触发工件台和光学的响应。事件驱动,零延迟。"
"改架构?"王磊皱眉,"联调都跑到一半了,现在改软件架构……"
"风险大,但值得。"陈文渊的声音很稳,"我带着团队,二十四小时在线。三天之内,把新架构切上去。"
苏宇沉默了几秒。
任务倒计时,只剩八天。
"陈工,"他缓缓开口,"你有多大的把握?"
"七成。"陈文渊说,"苏总,我在高通十二年,改过不下二十次架构。这一次,我赌上这十二年的经验——三天,一定给你一个新架构。"
"好。"苏宇点头,"三天。软件组,全力配合陈工。"
联调倒计时第七天。
陈文渊的新架构,在第四天凌晨三点,切入了整机。
"二次联调开始!"
"点火!"
"光源正常!工件台同步正常!光学对焦正常!"
"动态工况模拟——开始!"
这一次,四模块像咬合严密的齿轮,高速运转,分毫不乱。
"对焦滞后——消除!"
"曝光位置偏差——0.1纳米以内!"
"连续运行十六小时——通过!"
厂房里,欢呼声再次响起。
苏宇看着那台轰然运转的钢铁巨兽,心里却并没有完全放松。
他调出系统面板。
"任务【EUV总装】:当前进度:2/3——总装(完成)、联调(进行中)、流片(未完成)。"