星辰光刻光源实验室,午夜。
张工盯着监测屏上那条功率曲线,眼睛布满血丝。
"又掉了。"他把手里的记录本往桌上一拍,"连续运行四小时,功率从520瓦一路掉到487瓦。一掉电,镀膜层就开始烧损——这就是个死循环。"
光源组十几号人,围在监测屏前,一片沉默。
"张工,"一个年轻工程师低声问,"这个问题,真就无解了?"
"无解?"张工苦笑,"要是有解,我至于熬这第七个通宵?"
他指着屏幕上那根跳动的波纹:"LPP光源,用二氧化碳激光轰击锡滴产生等离子体。锡滴在激光下爆开,变成高温等离子体,发出极紫外光。原理不复杂,难就难在——锡滴炸开的时候,会有无数碎屑高速飞溅。"
"飞溅的锡屑粘到收集镜上,镜面一脏,反射效率就往下掉。"
"反射效率掉了,激光功率就得往上加;功率一加,锡滴汽化更不充分,碎屑更多……"
"恶性循环。"苏宇的声音从门口传来,他推门进来,身上还带着夜里的凉气,"我听说,光源这块又卡住了。"
"苏总!"张工一愣,"您怎么……"
"从光学实验室那边过来。"苏宇在他身边坐下,"刚把镜组的事儿了了,转头就听说你这儿也卡了。说吧,现在卡在哪一道坎上?"
"功率。"张工把记录本摊开,"实验室出光,跑一两个小时没问题。可上了产线,那是二十四小时连轴转。咱们这套光源,连续运行四小时,功率就开始往下掉,跑不满三天,就得停下来拆洗镜组。"
"一台光刻机,一年要跑八千多个小时。"他叹了口气,"就现在这个状态,量产线根本不敢开机。"
"加班加点调参,已经调了整整一周了。"那个年轻工程师小声说,"功率就是卡在五百瓦这道坎上。"
"这不是调参的问题。"角落里,韩工忽然开口,"是方案的问题。"
所有人循声看去。
韩工站起来,走到白板前,画了一个草图:"锡滴飞溅的路径,我测过三百多次。碎屑不是随机分布的——它沿着等离子体的磁场线,有一个固定的聚集方向。"
"磁场线?"张工一愣。
"对。"韩工在草图上画了几道弧线,"LPP等离子体是个强电磁环境,带电的锡屑,会顺着磁场线跑。如果我们在这条磁路上,加一道可控磁场——把带电的锡屑导走——"
"让它们绕开收集镜?"张工的眼睛一下子亮了。
"不止绕开。"韩工深吸一口气,"还可以让导走的锡屑,重新回到锡滴轨道,回收利用。磁轨导流,一石二鸟。"
实验室里,响起一片吸气声。
"导流+回收?"张工喃喃,"这个思路……"
"是我从归鸿计划的老资料里翻出来的。"韩工说,"漂亮国十年前做过类似实验,方向对了,但当时磁场控制精度不够,放弃了。现在——"他看向苏宇,"咱们有量子芯片,磁场控制精度,完全不是问题。"
苏宇看着白板上那几道弧线,目光越来越亮。
"韩工,"他问,"这套方案,你有几成把握?"
"原理上,我有八成把握。"韩工说,"但导流结构的设计、磁场的参数匹配,最快也要三天才能出样机。"
"三天太久。"苏宇摇头,"我给你两天。"
"苏总……"
"光源组的兄弟们,今晚起两班倒。"苏宇站起身,"韩工你牵头,归鸿的工程师搭把手——磁场控制单元,我来解决。冰芯那边刚流片的量子芯片,控制精度绰绰有余。"
"两天之内,"他一字一句,"我要看到样机。"
"磁轨导流"方案的原理样机,在光源组和归鸿工程师的连番苦战下,一点点成型。